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三丰粗糙度轮廓度测量仪CS-5000系列

产品详情

高精度测针型CNC 表面测量仪可以同时进行表面粗糙度和形状/轮廓的测量。
X1
轴和Z2 轴的最大驱动速度分别为40mm/s 200mm/s,可以高速定位,从而提高了多重轮廓/多工件测量的效率。
X1
轴和Z1 轴上装有三丰激光全息光栅尺,从而可以实现高分辨率(X1 轴分辨率:6.25nm,Z1 轴分辨率:4nm/8nm) 的轮廓/形状测量、表面粗糙度的测量和批次测量。
Z1
轴检测器采用主动控制方式,减少Z1轴动态测力变化的同时扩展了测量范围。
Z1
轴检测器集成了防碰撞安全装置,当仪器主体与工件或夹具发生碰撞时,检测装置可以自动停止工作。
带有a 轴的型号,可以通过电动旋转X1轴连续测量水平面和倾斜面。
带有Y 轴工作台的型号,可沿Y 轴进行多工件定位,从而增加了多工件测量范围。
提供易于操作的遥控箱,用户可以通过这两个操纵杆选择合适的轴进行移动。在按键上标有易于理解的图形显示轴的选择状态。
通过USB 端口与数据处理/分析装置(选件) 进行信息交换。

货号

型号

X1轴测量范围mm

备注

Z2轴垂直行程mm

Y轴工作台装置

α轴装置

12AAD543



标准长度测针(针尖半径5μm)




12AAD544



标准长度球型测针(针尖半径5μm)




12AAD545



二倍长型测针(针尖半径5μm)




12AAD546



二倍长球型测针




12AAD651



用于小孔的标准长度探针




12AAD652



用于极小孔的标准长度测针




12AAD653



标准长度离心测针




12AAJ037



适于CS-H5000CNC (针尖半径5μm)




12AAJ039



适于CS-H5000CNC (针尖半径5μm)




12AAJ041



二倍长型测针(针尖半径2μm)




525-721-1

CS-5000CNC

200

100V-120V

300



525-721-2

CS-5000CNC

200

200V-240V

300



525-722-1

CS-5000CNC

200

100V-120V

300


已安装

525-722-2

CS-5000CNC

200

200V-240V

300


已安装

525-723-1

CS-5000CNC

200

100V-120V

300

已安装


525-723-2

CS-5000CNC

200

200V-240V

300

已安装


525-724-1

CS-5000CNC

200

100V-120V

300

已安装

已安装

525-724-2

CS-5000CNC

200

200V-240V

300

已安装

已安装

525-741-1

CS-5000CNC

200

100V-120V

500



525-741-2

CS-5000CNC

200

100V-120V

500



525-742-1

CS-5000CNC

200

100V-120V

300


已安装

525-742-2

CS-5000CNC

200

200V-240V

500


已安装

525-743-1

CS-5000CNC

200

100V-120V

500

已安装


525-743-2

CS-5000CNC

200

200V-240V

500

已安装


525-744-1

CS-5000CNC

200

100V-120V

500

已安装

已安装

525-744-2

CS-5000CNC

200

200V-240V

500

已安装

已安装

525-761-1

CS-H5000CNC

200

100V-120V

300



525-761-2

CS-H5000CNC

200

200V-240V

300



525-763-1

CS-H5000CNC

200

100V-120V

300

已安装

已安装

525-763-2

CS-H5000CNC

200

200V-240V

300

已安装

已安装

技术参数:
X1

测量范围: 200mm
分辨率: 0.00625μm
检测方法: 激光全息光栅尺
驱动速度: 最大40mm/s (CNC 模式)
0 - 40mm/s (
操纵杆控制模式)
测量速度: 0.02 - 0.2mm/s (表面粗糙度)
0.02 - 2mm/s (
形状/轮廓)
移动方向: 向前/向后
直线度: (0.1+0.0015L)μm、使用标准测针
           (0.2+0.0015L)μm
、使用二倍长型测针
直线度: (0.05+0.0003L)μm、使用标准测针
           (0.2+0.0015L)μm
、使用二倍长型测针

           (CS-H5000CNC)
指示精度 (20°C): ±(0.3+0.002L)μm
指示精度 (20°C): ±(0.16+0.001L)μm(CS-H5000CNC)
L
为驱动长度(mm)
Z1

测量范围: 12mm (标准测针)
24mm (
二倍长型测针)
分辨率: 0.001μm (标准测针)
0.002μm (
二倍长型测针)

测针上/下运作: 弧形运动
检测方法: 激光全息光栅尺
指示精度 (20°C): ±(0.3+I0.02HI)μm
指示精度 (20°C): ±(0.07+I0.02HI)μm(CS-H5000CNC)
H
为测量高度(mm)
测力: 4mN (标准测针)
0.75mN (
二倍长型测针)
跟踪角度: 向上60° 向下60°
(
取决于表面粗糙度)
测针针尖: 半径: 5μm, 角度: 40°、钻石
(
球型测针) (半径: 0.25mm, 蓝宝石)
测针方向: 向下
Z2
(立柱)
测量范围: 300mm (500mm:高立柱型)
分辨率: 0.05μm
检测方法: 反射型线性编码器
驱动速度: 最大200mm/s (CNC 模式)
0 - 50mm/s (
操纵杆控制模式)
基座尺寸(W x D): 750 x 600mm
基座材料: 花岗岩
尺寸 (W x D x H): 800 x 620 x 1000mm
(800 x 620 x 1200mm
:高立柱型)
重量: 240kg (250kg:高立柱型)

软件选件
FORMTRACEPAK
使用该软件可以控制马达驱动的Y 轴工作台和旋转台
选件,从而实现自动测量。使用该软件还可以进行轮
廓评估,这项评估包括对级差,角度,深度,面积和
其他基于表面粗糙度数据的特性进行分析。另外,还
可以通过设置打印格式建立原始检测证书,以适应不
同的需求。

 


三丰粗糙度轮廓度测量仪CS-5000系列
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