三丰超高精度影像测量仪QV363系列

特点
采用高精度气浮轴承线性导轨系统，从而将直线度误差减少到最小。

采用分辨率为0.01mm 的玻璃光栅尺，此玻璃光栅尺由位于地下11 米处的高精密工厂制造。    

通过使用热膨胀系数几乎为零的玻璃光栅尺，将温度变化对精度的影响减少到最低。

使用有限元方法(Finite Element Method) 分析优化主机的机械结构。

稳定的几何量精度(如：每个轴的直线度和垂直度) 以降低热效应影响。

*测量精度在以下条件下定义
  可编程电动转盘: 1X, 物镜设置: 2.5X
  L 为任意两点间尺寸 (mm)
** 包括机器设置台