特点
采用高精度气浮轴承线性导轨系统,从而将直线度误差减少到最小。
采用分辨率为0.01mm 的玻璃光栅尺,此玻璃光栅尺由位于地下11 米处的高精密工厂制造。
通过使用热膨胀系数几乎为零的玻璃光栅尺,将温度变化对精度的影响减少到最低。
使用有限元方法(Finite Element Method) 分析优化主机的机械结构。
稳定的几何量精度(如:每个轴的直线度和垂直度) 以降低热效应影响。
货号 | 型号 | 分辨率 | 工作台玻璃尺寸 | 台面最大承重 | 重量 |
ULTRA QV404 PRO | ULTRA QV404 PRO | 0.01μm | 493 x 551mm | 40kg | 2150kg** |
*测量精度在以下条件下定义
可编程电动转盘: 1X, 物镜设置: 2.5X
L 为任意两点间尺寸 (mm)
** 包括机器设置台